
產品分類
達曼光柵
產品概述
作為一種實現激光分束典型的二元光學元件,達曼光柵只有兩個相位臺階,通過改變單個相位周期內,相位斷點的個數和相對位置,實現不同的分束激光點陣。廣泛應用到光纖星狀耦合,多激光干涉,光互連,激光打孔,激光測量,激光表切等當中。
產品原理
達曼光柵在設計過程中,首先由光柵方程,根據客戶需要的角間隔θ和激光波長λ,計算得出光柵周期(假定入射光為準直光):
得出周期,采用全局算法和相應的優化算法,得出達曼光柵在周期內的斷點和提供的調制相位(0,a1,a2,……an,1;),其中調制相位和刻蝕深度s的對應關系為(元件折射率為n):
產品參數
材料 |
熔融石英 |
試用波長 |
193nm~2000nm |
元件尺寸 |
|
一維達曼光柵效率 |
>80% |
二位達曼光柵效率 |
>64% |
鍍膜 |
增透膜 |
分束點數 |
根據客戶需求進行定制 |
角間隔 |
根據客戶需求進行定制 |
產品性能特點
1. 達曼光柵分束不改變光束固有特性,包括光束的光束質量,光斑能量分布等參數
2. 達曼光柵需要入射光正入射
3. 達曼光柵微結構為周期性重復結構,一般入射光入射到光柵任何刻蝕面積不影響最終分束結果
4. 達曼光柵的分束點數和分束角間隔取決于當下半導體加工的線寬,一般點陣數量越多,角間隔越大,加工難度越大
5. 入射光斑大小最好覆蓋達曼光柵周期的5倍以上,在可以犧牲一定均勻性的前提下,3倍為最低限度,否則分束效果受限
6. 二維達曼光柵,為對一維達曼光柵進行正交變換,因此其分束效率為一維達曼光柵的平方,通常只有60多的百分比
產品使用

在使用過程中,根據設計入射角(一般為正入射),入射激光入射到達曼光柵元件上??蛻粢部梢愿鶕枨?,選擇是否使用聚焦鏡。
注意事項
針對我們產品的主流原材料----熔融石英,我們對其進行了損傷近似值的測試,實驗光源采用1064nm的皮秒激光器,重復頻率為800KHz,測出元件的損傷近似閾值如下所示:
項目 |
不鍍膜 |
鍍膜 |
平均功率(W) |
50 |
48 |
能量密度(J/cm2) |
1.9 |
1.8 |
峰值功率(GW/cm2) |
1250 |
1200 |
環境要求
l 工作濕度:15%~85%
l 保存濕度:10%~90%
拆開檢查
n 打開包裝,仔細檢查產品,并輕拿輕放
n 如果發現產品有任何損壞,請保留好并及時通知我公司人員
n 請不要嘗試使用已損壞的產品
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